চীন প্রথম সেমিকন্ডাক্টর-গ্রেড ওজোন জেনারেটর স্ট্যান্ডার্ড প্রকাশ করেছে, দেশীয় সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জাম শিল্পকে বাড়িয়েছে

চীনা সেমিকন্ডাক্টর শিল্প সেমিকন্ডাক্টর-গ্রেড ওজোন জেনারেটরের জন্য দেশের প্রথম গ্রুপ স্ট্যান্ডার্ডের আনুষ্ঠানিক প্রকাশ এবং বাস্তবায়নের সাথে একটি উল্লেখযোগ্য মাইলফলক পৌঁছেছে। 9 ডিসেম্বর, 2025-এ জারি করা, "সেমিকন্ডাক্টর-গ্রেড ওজোন জেনারেটরগুলির জন্য প্রযুক্তিগত প্রয়োজনীয়তা" (T/CIET 1946-2025) চ্যাইনডাক্ট জুড়ে 17টি নেতৃস্থানীয় উদ্যোগের সহযোগিতায় কিংডাও গুওলিন সেমিকন্ডাক্টর টেকনোলজি কোং লিমিটেডের নেতৃত্বে ছিল।

এই ল্যান্ডমার্ক স্ট্যান্ডার্ডটি সেমিকন্ডাক্টর এবং প্যানেল ডিসপ্লে উত্পাদনে ব্যবহৃত ওজোন সরঞ্জামগুলির জন্য গার্হস্থ্য প্রযুক্তিগত বৈশিষ্ট্যগুলির একটি গুরুত্বপূর্ণ ফাঁক পূরণ করে। ওজোন জেনারেটরগুলি পাতলা-ফিল্ম জমা, ওয়েফার পরিষ্কার এবং ফটোরেসিস্ট অপসারণ সহ মূল সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াগুলিতে একটি অপরিহার্য ভূমিকা পালন করে, যেখানে তাদের প্রযুক্তিগত কর্মক্ষমতা এবং নির্ভরযোগ্যতা সরাসরি চিপ তৈরির ফলনকে প্রভাবিত করে।

ওজোন মেশিন প্রযুক্তি আধুনিক সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাবগুলিতে অপরিহার্য হয়ে উঠেছে, যেখানে পৃষ্ঠের পরিচ্ছন্নতার প্রয়োজনীয়তা পারমাণবিক-স্তরের নির্ভুলতায় পৌঁছেছে। সাম্প্রতিক পরীক্ষাগার পরীক্ষা দেখায় যে উন্নত UV ওজোন পরিষ্কারের সিস্টেমগুলি সিলিকন ওয়েফারের জৈব দূষকগুলিকে 50nm থেকে মাত্র 0.5nm পর্যন্ত কমাতে পারে, যা ঐতিহ্যগত পদ্ধতির তুলনায় পরিষ্কার করার দক্ষতায় 100-গুণ উন্নতি করতে পারে৷ শিল্পটি 5nm এবং 3nm প্রক্রিয়া নোডের দিকে অগ্রসর হওয়ার কারণে নির্ভুলতার এই স্তরটি গুরুত্বপূর্ণ।

সেমিকন্ডাক্টর অ্যাপ্লিকেশনের জন্য ডিজাইন করা ইন্ডাস্ট্রিয়াল ওজোন জেনারেটরগুলি নির্দিষ্ট উত্পাদন প্রয়োজনীয়তা অনুসারে সুনির্দিষ্ট ওজোন ঘনত্ব তৈরি করতে করোনা স্রাব বা অতিবেগুনী পদ্ধতি ব্যবহার করে। সালফিউরিক অ্যাসিড এবং হাইড্রোজেন পারক্সাইডের উপর নির্ভর করে এমন প্রচলিত ভেজা পরিষ্কারের প্রক্রিয়াগুলির বিপরীতে - যা রাসায়নিক অবশিষ্টাংশগুলিকে ছেড়ে দিতে পারে এবং উল্লেখযোগ্য বর্জ্য জল তৈরি করতে পারে - ওজোন-ভিত্তিক পরিচ্ছন্নতা একটি শুষ্ক, অবশিষ্টাংশ-মুক্ত বিকল্প সরবরাহ করে যা ব্যবহারের পরে প্রাকৃতিকভাবে অক্সিজেনে পচে যায়৷

বেইজিং নর্থ হুয়াচুয়াং মাইক্রোইলেক্ট্রনিক্স ইকুইপমেন্ট কোং., হুয়াহাই কিংকে কোং, টুওজিং সেমিকন্ডাক্টর ইকুইপমেন্ট, এবং শেংমেই সেমিকন্ডাক্টর ইকুইপমেন্ট সহ প্রধান শিল্প খেলোয়াড়দের সম্পৃক্ত বিস্তৃত সহযোগিতার মাধ্যমে নতুন প্রতিষ্ঠিত মানটি তৈরি করা হয়েছিল। এই বিস্তৃত শিল্পের অংশগ্রহণ সেমিকন্ডাক্টর ইকোসিস্টেম জুড়ে স্ট্যান্ডার্ডের বৈজ্ঞানিক কঠোরতা, প্রযোজ্যতা এবং প্রতিনিধিত্ব নিশ্চিত করে।

ওজোন জীবাণুমুক্তকরণ মেশিন অ্যাপ্লিকেশনগুলি অর্ধপরিবাহী উত্পাদন সরঞ্জাম এবং সুবিধাগুলি থেকে জৈব দূষকগুলি অপসারণের জন্য উন্নত জারণ প্রক্রিয়াগুলিকে অন্তর্ভুক্ত করতে ওয়েফার পরিষ্কারের বাইরে প্রসারিত হয়। প্রযুক্তি কার্যকরভাবে ফোটোরেসিস্ট অবশিষ্টাংশ, জৈব দ্রাবক ট্রেস এবং বায়ুবাহিত আণবিক দূষকগুলিকে নির্মূল করে যা চিপের ফলনকে আপস করতে পারে।

প্রমিতকরণ প্রচেষ্টা, যা 2025 সালের মার্চ মাসে প্রকল্প অনুমোদনের সাথে শুরু হয়েছিল এবং ডিসেম্বর 2025-এ চূড়ান্ত প্রকাশের সাথে সমাপ্ত হয়েছিল, ওজোন উত্পাদন সরঞ্জামগুলির জন্য ব্যাপক প্রযুক্তিগত বৈশিষ্ট্য এবং নির্ভরযোগ্যতার মানদণ্ড স্থাপন করে। এটি অর্ধপরিবাহী নির্মাতাদের সরঞ্জাম নির্বাচন এবং প্রক্রিয়া বৈধতার জন্য পরিষ্কার, পরিমাপযোগ্য মানদণ্ড সরবরাহ করে।

শিল্প বিশ্লেষকরা প্রজেক্ট করেন যে বিশ্বব্যাপী ওজোন জেনারেটর বাজার 2030 সালের মধ্যে 2.36 বিলিয়ন ডলারে পৌঁছাবে, যা 8.0% এর CAGR-এ বৃদ্ধি পাবে, আংশিকভাবে সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন পরিকাঠামোতে বিনিয়োগ বৃদ্ধি এবং উন্নত পরিচ্ছন্নতার সমাধানগুলির প্রয়োজনীয়তার দ্বারা চালিত হবে৷ নতুন চীনা মান দেশীয় নির্মাতাদের এই প্রসারিত বাজারে আরও কার্যকরভাবে প্রতিদ্বন্দ্বিতা করার জন্য অবস্থান করে এবং দেশীয় সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জামের ক্ষমতাকে শক্তিশালী করার জন্য বৃহত্তর জাতীয় উদ্যোগকে সমর্থন করে।

সামনের দিকে তাকিয়ে, এই মানটির বাস্তবায়ন চীনা সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাবগুলিতে অভ্যন্তরীণভাবে উত্পাদিত ওজোন জেনারেটর গ্রহণকে ত্বরান্বিত করবে বলে আশা করা হচ্ছে, সামঞ্জস্যপূর্ণ গুণমান এবং কর্মক্ষমতা নিশ্চিত করার সাথে সাথে আমদানি করা সরঞ্জামের উপর নির্ভরতা হ্রাস করবে। যেহেতু সেমিকন্ডাক্টর শিল্প তার দ্রুত সম্প্রসারণ চালিয়ে যাচ্ছে, প্রমিত ওজোন প্রযুক্তি পরবর্তী প্রজন্মের চিপ উৎপাদনের জন্য প্রয়োজনীয় সুনির্দিষ্ট, দূষণ-মুক্ত উত্পাদন পরিবেশ সক্ষম করতে ক্রমবর্ধমান গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করবে।